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微纳测试与加工中心(实验室)
日期:2024年04月23日 09:54  编辑:电子信息与集成电路学院  核稿:王东明    信息来源: 电子信息与集成电路学院 点击数:

中心围绕半导体器件及集成电路技术应用,开展应用基础研究和前瞻性研究。中心现有成员16人,其中博士15人,教授2人,副教授5人、高工2人,安徽省特支计划创新人才1人,安徽省教学名师1人。

教学方面:本实训基地可承担《半导体物理》、《半导体物理与器件》、《半导体工艺原理》、《电子材料》、《MEMS与微系统》、《电磁场常用仿真软件概述》等课程教学实验任务。能够完成半导体薄膜器件制备、集成电路光刻工艺、晶体管测试等实验项目。

实训方面:本中心可面向微电子科学与工程、集成电路设计与系统集成专业开设实训课程、提供毕业论文、学生科技比赛、大学生创新创业指导服务。可接纳学生数200人/学期,为落实我校应用型人才培养打下坚实的实践基础。

科学研究方面:围绕半导体功率器件、传感器阵列及智能感知器件、红外光电探测器等开展理论与应用研究,与池州华宇电子科技股份有限公司共建安徽省专用芯片系统级封装工程研究中心、安徽钜芯半导体科技股份有限公司共建安徽省基于新型半导体材料的专用功率器件工程研究中心,与相关企业开展多种形式的技术合作,累计完成安徽省科技攻关项目、安徽省自然科学基金等省部级项目20余项,发表SCI论文30余篇。相关成果获安徽省科学技术进步奖二等奖1项、三等奖1项。

对外服务方面:中心拥有无掩膜版紫外光刻机、磁控溅射镀膜机、等离子刻蚀机器、原子层沉积(ALD)、等离子增强化学气相沉积系统、热蒸发镀膜机、4200A-SCS参数分析仪、阻抗分析集成系统、台阶仪等先进的微纳加工和测试仪器设备。积极对外开放共享大型仪器设备,可为高校、科研院所和企业提供工程技术研究与实验测试服务。

人才培养方面:积极响应国家对当代大学生“大众创业万众创新”的号召,依托学科竞赛,引导学生参与教师科研。近年来,培养具备创新创业技能的学生50余人;指导学生参加学科竞赛获得国家级、省级奖励20余项,获批国家级大学生创新创业基金项目6项,省级大学生创新创业基金项目20余项。相关成果获得安徽省教学成果一等奖奖、二等奖、三等奖各1项。

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